സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ഗുണങ്ങളും ദോഷങ്ങളും

അടുത്തിടെ, നിരവധി ഉപയോക്താക്കൾ സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ഗുണങ്ങളെയും ദോഷങ്ങളെയും കുറിച്ച് അന്വേഷിച്ചു, ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കളുടെ ആവശ്യങ്ങൾ അനുസരിച്ച്, ഇപ്പോൾ ആർ‌എസ്‌എം ടെക്‌നോളജി ഡിപ്പാർട്ട്‌മെന്റിലെ വിദഗ്ധർ പ്രശ്‌നങ്ങൾ പരിഹരിക്കുമെന്ന് പ്രതീക്ഷിക്കുന്നു.ഒരുപക്ഷേ ഇനിപ്പറയുന്ന പോയിന്റുകൾ ഉണ്ട്:

　　1, അസന്തുലിതമായ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്

മാഗ്‌നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് കാഥോഡിന്റെ ആന്തരികവും പുറവുമായ കാന്തിക ധ്രുവങ്ങളിലൂടെ കടന്നുപോകുന്ന കാന്തിക പ്രവാഹം തുല്യമല്ലെന്ന് കരുതുക, ഇത് ഒരു അസന്തുലിതമായ മാഗ്‌നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് കാഥോഡാണ്.സാധാരണ മാഗ്‌നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് കാഥോഡിന്റെ കാന്തികക്ഷേത്രം ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിന് സമീപം കേന്ദ്രീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, അതേസമയം അസന്തുലിതമായ മാഗ്‌നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് കാഥോഡിന്റെ കാന്തികക്ഷേത്രം ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് പ്രസരിക്കുന്നു.സാധാരണ മാഗ്നെട്രോൺ കാഥോഡിന്റെ കാന്തികക്ഷേത്രം ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിനടുത്തുള്ള പ്ലാസ്മയെ കർശനമായി പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നു, അതേസമയം അടിവസ്ത്രത്തിന് സമീപമുള്ള പ്ലാസ്മ വളരെ ദുർബലമാണ്, മാത്രമല്ല അടിവസ്ത്രം ശക്തമായ അയോണുകളും ഇലക്ട്രോണുകളും ഉപയോഗിച്ച് ബോംബെറിയില്ല.സന്തുലിതമല്ലാത്ത മാഗ്നെട്രോൺ കാഥോഡ് കാന്തികക്ഷേത്രത്തിന് പ്ലാസ്മയെ ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് വളരെ ദൂരത്തേക്ക് നീട്ടാനും അടിവസ്ത്രത്തെ മുക്കാനും കഴിയും.

　　2, റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി (RF) സ്പട്ടറിംഗ്

ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കുന്ന തത്വം: ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ പിൻഭാഗത്ത് സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്ന കണ്ടക്ടറിലേക്ക് ഒരു നെഗറ്റീവ് പൊട്ടൻഷ്യൽ പ്രയോഗിക്കുന്നു.ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് പ്ലാസ്മയിൽ, പോസിറ്റീവ് അയോൺ ഗൈഡ് പ്ലേറ്റ് ത്വരിതപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, അത് അതിന്റെ മുന്നിലുള്ള ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ലക്ഷ്യത്തെ സ്‌പട്ടർ ചെയ്യാൻ ബോംബെറിയുന്നു.ഈ സ്പട്ടറിംഗ് 10-7 സെക്കൻഡ് മാത്രമേ നിലനിൽക്കൂ.അതിനുശേഷം, ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ടാർഗെറ്റിൽ അടിഞ്ഞുകൂടിയ പോസിറ്റീവ് ചാർജ്ജ് രൂപപ്പെടുന്ന പോസിറ്റീവ് പൊട്ടൻഷ്യൽ കണ്ടക്ടർ പ്ലേറ്റിലെ നെഗറ്റീവ് പൊട്ടൻഷ്യലിനെ ഓഫ്സെറ്റ് ചെയ്യുന്നു, അതിനാൽ ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിലെ ഉയർന്ന ഊർജ്ജ പോസിറ്റീവ് അയോണുകളുടെ ബോംബിംഗ് നിർത്തുന്നു.ഈ സമയത്ത്, വൈദ്യുത വിതരണത്തിന്റെ ധ്രുവീകരണം വിപരീതമാണെങ്കിൽ, ഇലക്ട്രോണുകൾ ഇൻസുലേറ്റിംഗ് പ്ലേറ്റിൽ ബോംബെറിഞ്ഞ് 10-9 സെക്കൻഡിനുള്ളിൽ ഇൻസുലേറ്റിംഗ് പ്ലേറ്റിലെ പോസിറ്റീവ് ചാർജിനെ നിർവീര്യമാക്കുകയും അതിന്റെ സാധ്യത പൂജ്യമാക്കുകയും ചെയ്യും.ഈ സമയത്ത്, പവർ സപ്ലൈയുടെ ധ്രുവീകരണം വിപരീതമാക്കുന്നത് 10-7 സെക്കൻഡ് നേരത്തേക്ക് സ്പട്ടറിംഗ് ഉണ്ടാക്കാം.

RF സ്പട്ടറിംഗിന്റെ പ്രയോജനങ്ങൾ: ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങളും വൈദ്യുത ലക്ഷ്യങ്ങളും സ്പട്ടർ ചെയ്യാൻ കഴിയും.

　　3, ഡിസി മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്

മാഗ്നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ ഡിസി സ്‌പട്ടറിംഗ് കാഥോഡ് ടാർഗെറ്റിലെ കാന്തികക്ഷേത്രം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിലെ ഇലക്‌ട്രോണുകളുടെ പാതയെ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും നീട്ടുന്നതിനും കാന്തികക്ഷേത്രത്തിന്റെ ലോറന്റ്സ് ശക്തി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇലക്ട്രോണുകളും വാതക ആറ്റങ്ങളും തമ്മിലുള്ള കൂട്ടിയിടി സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ഗ്യാസ് ആറ്റങ്ങളുടെ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക്, ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക് ബോംബെറിയുന്ന ഉയർന്ന ഊർജ്ജ അയോണുകളുടെ എണ്ണം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും പൂശിയ അടിവസ്ത്രത്തിൽ ബോംബെറിയുന്ന ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ഇലക്ട്രോണുകളുടെ എണ്ണം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

പ്ലാനർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ പ്രയോജനങ്ങൾ:

1. ടാർഗെറ്റ് പവർ ഡെൻസിറ്റി 12w/cm2 വരെ എത്താം;

2. ലക്ഷ്യം വോൾട്ടേജ് 600V എത്താം;

3. വാതക സമ്മർദ്ദം 0.5pa വരെ എത്താം.

പ്ലാനർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ പോരായ്മകൾ: ലക്ഷ്യം റൺവേ ഏരിയയിൽ ഒരു സ്പട്ടറിംഗ് ചാനൽ ഉണ്ടാക്കുന്നു, മുഴുവൻ ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിന്റെ കൊത്തുപണിയും അസമമാണ്, കൂടാതെ ടാർഗെറ്റിന്റെ ഉപയോഗ നിരക്ക് 20% - 30% മാത്രമാണ്.

　　4, ഇന്റർമീഡിയറ്റ് ഫ്രീക്വൻസി എസി മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്

ഇടത്തരം ആവൃത്തിയിലുള്ള എസി മാഗ്നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ, സാധാരണയായി ഒരേ വലുപ്പവും ആകൃതിയുമുള്ള രണ്ട് ടാർഗെറ്റുകൾ വശങ്ങളിലായി ക്രമീകരിച്ചിരിക്കുന്നതിനെ ഇത് സൂചിപ്പിക്കുന്നു, പലപ്പോഴും ഇരട്ട ടാർഗെറ്റുകൾ എന്ന് വിളിക്കപ്പെടുന്നു.അവ സസ്പെൻഡ് ചെയ്ത ഇൻസ്റ്റാളേഷനുകളാണ്.സാധാരണയായി, രണ്ട് ടാർഗെറ്റുകൾ ഒരേ സമയം പ്രവർത്തിക്കുന്നു.മീഡിയം ഫ്രീക്വൻസി എസി മാഗ്നെട്രോൺ റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, രണ്ട് ലക്ഷ്യങ്ങളും ആനോഡും കാഥോഡും ആയി പ്രവർത്തിക്കുന്നു, അവ ഒരേ പകുതി സൈക്കിളിൽ പരസ്പരം ആനോഡ് കാഥോഡായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.ലക്ഷ്യം നെഗറ്റീവ് ഹാഫ് സൈക്കിൾ പൊട്ടൻഷ്യലിൽ ആയിരിക്കുമ്പോൾ, ലക്ഷ്യ പ്രതലം പോസിറ്റീവ് അയോണുകളാൽ ബോംബെറിയപ്പെടുകയും സ്പട്ടർ ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു;പോസിറ്റീവ് ഹാഫ് സൈക്കിളിൽ, ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിന്റെ ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഉപരിതലത്തിൽ അടിഞ്ഞുകൂടിയ പോസിറ്റീവ് ചാർജിനെ നിർവീര്യമാക്കുന്നതിന് പ്ലാസ്മയുടെ ഇലക്ട്രോണുകൾ ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിലേക്ക് ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു, ഇത് ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിന്റെ ജ്വലനത്തെ അടിച്ചമർത്തുക മാത്രമല്ല, "" എന്ന പ്രതിഭാസത്തെ ഇല്ലാതാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ആനോഡ് അപ്രത്യക്ഷം".

ഇന്റർമീഡിയറ്റ് ഫ്രീക്വൻസി ഡബിൾ ടാർഗെറ്റ് റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗിന്റെ ഗുണങ്ങൾ ഇവയാണ്:

(1) ഉയർന്ന നിക്ഷേപ നിരക്ക്.സിലിക്കൺ ലക്ഷ്യങ്ങൾക്കായി, മീഡിയം ഫ്രീക്വൻസി റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗിന്റെ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് ഡിസി റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിങ്ങിന്റെ 10 മടങ്ങാണ്;

(2) സെറ്റ് ഓപ്പറേറ്റിംഗ് പോയിന്റിൽ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയ സ്ഥിരപ്പെടുത്താൻ കഴിയും;

(3) "ജ്വലനം" എന്ന പ്രതിഭാസം ഇല്ലാതായി.തയ്യാറാക്കിയ ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിമിന്റെ വൈകല്യ സാന്ദ്രത ഡിസി റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് രീതിയേക്കാൾ നിരവധി ഓർഡറുകൾ കുറവാണ്;

(4) ഉയർന്ന അടിവസ്ത്ര താപനില ഫിലിമിന്റെ ഗുണനിലവാരവും അഡീഷനും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് പ്രയോജനകരമാണ്;

(5) RF വൈദ്യുതി വിതരണത്തേക്കാൾ ലക്ഷ്യവുമായി പൊരുത്തപ്പെടാൻ വൈദ്യുതി വിതരണം എളുപ്പമാണെങ്കിൽ.

　　5, റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്

സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, സംയോജിത ഫിലിമുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിന് സ്‌പട്ടർ ചെയ്ത കണങ്ങളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാൻ പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകം നൽകുന്നു.ഒരേ സമയം സ്‌പട്ടറിംഗ് കോമ്പൗണ്ട് ടാർഗെറ്റുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാൻ ഇതിന് റിയാക്ടീവ് ഗ്യാസ് നൽകാൻ കഴിയും, കൂടാതെ തന്നിരിക്കുന്ന രാസ അനുപാതത്തിൽ സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ ഒരേ സമയം സ്‌പട്ടറിംഗ് ലോഹവുമായോ അലോയ് ടാർഗെറ്റുമായോ പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാൻ റിയാക്ടീവ് വാതകം നൽകാനും ഇതിന് കഴിയും.

റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോമ്പൗണ്ട് ഫിലിമുകളുടെ പ്രയോജനങ്ങൾ:

(1) ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളും പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങളും ഓക്സിജൻ, നൈട്രജൻ, ഹൈഡ്രോകാർബണുകൾ മുതലായവയാണ്, അവ സാധാരണയായി ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ നേടാൻ എളുപ്പമാണ്, ഇത് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു;

(2) പ്രോസസ്സ് പാരാമീറ്ററുകൾ ക്രമീകരിച്ചുകൊണ്ട്, ഫിലിമുകളുടെ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ക്രമീകരിക്കുന്നതിന്, കെമിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ നോൺ കെമിക്കൽ സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ കഴിയും;

(3) അടിവസ്ത്ര താപനില ഉയർന്നതല്ല, കൂടാതെ അടിവസ്ത്രത്തിൽ കുറച്ച് നിയന്ത്രണങ്ങളുണ്ട്;

(4) വലിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള യൂണിഫോം കോട്ടിംഗിന് അനുയോജ്യവും വ്യാവസായിക ഉൽപ്പാദനം സാക്ഷാത്കരിക്കുന്നതുമാണ്.

റിയാക്ടീവ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, സംയുക്ത സ്‌പട്ടറിംഗിന്റെ അസ്ഥിരത സംഭവിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, പ്രധാനമായും ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

(1) സംയുക്ത ലക്ഷ്യങ്ങൾ തയ്യാറാക്കുന്നത് ബുദ്ധിമുട്ടാണ്;

(2) ടാർഗെറ്റ് വിഷബാധയും സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ അസ്ഥിരതയും മൂലമുണ്ടാകുന്ന ആർക്ക് സ്ട്രൈക്കിംഗ് (ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ്) പ്രതിഭാസം;

(3) കുറഞ്ഞ സ്‌പട്ടറിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക്;

(4) ഫിലിമിന്റെ വൈകല്യ സാന്ദ്രത കൂടുതലാണ്.