അൾട്രാ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി അലുമിനിയം സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ സവിശേഷതകൾ

സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് (ഐസി) സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പുരോഗതിയോടെ, ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ അനുബന്ധ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ അതിവേഗം വികസിപ്പിച്ചെടുത്തിട്ടുണ്ട്.അൾട്രാ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി അലൂമിനിയം അലോയ് സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ്, ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് മെറ്റൽ ഇന്റർകണക്‌റ്റുകളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഒരു സഹായ വസ്തുവായി, സമീപകാല ആഭ്യന്തര ഗവേഷണങ്ങളിൽ ഒരു ചർച്ചാവിഷയമായി മാറിയിരിക്കുന്നു.ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിനിയം അലോയ് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ സവിശേഷതകൾ ആർ‌എസ്‌എമ്മിന്റെ എഡിറ്റർ ഞങ്ങൾക്ക് കാണിച്ചുതരും.

മാഗ്നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ സ്‌പട്ടറിംഗ് കാര്യക്ഷമത കൂടുതൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നതിനും, അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി അലുമിനിയം അലോയ് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ ഘടന, മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ, ധാന്യ ഓറിയന്റേഷൻ എന്നിവയ്ക്ക് ചില ആവശ്യകതകൾ ഉണ്ടെന്ന് ധാരാളം പരീക്ഷണങ്ങൾ കാണിക്കുന്നു.

ടാർഗെറ്റിന്റെ ധാന്യത്തിന്റെ വലുപ്പവും ധാന്യ ഓറിയന്റേഷനും ഐസി ഫിലിമുകളുടെ തയ്യാറെടുപ്പിലും ഗുണങ്ങളിലും വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു.ധാന്യത്തിന്റെ വലിപ്പം കൂടുന്നതിനനുസരിച്ച് നിക്ഷേപ നിരക്ക് കുറയുന്നതായി ഫലങ്ങൾ കാണിക്കുന്നു;ഒരേ ഘടനയുള്ള സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്, ചെറിയ ധാന്യ വലുപ്പമുള്ള ടാർഗെറ്റിന്റെ സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വലിയ ധാന്യ വലുപ്പമുള്ള ലക്ഷ്യത്തേക്കാൾ വേഗതയുള്ളതാണ്;ലക്ഷ്യത്തിന്റെ ധാന്യ വലുപ്പം കൂടുതൽ ഏകീകൃതമാണ്, നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ കനം വിതരണം കൂടുതൽ ഏകീകൃതമാണ്.

ഒരേ സ്‌പട്ടറിംഗ് ഉപകരണത്തിനും പ്രോസസ്സ് പാരാമീറ്ററുകൾക്കും കീഴിൽ, ആറ്റോമിക് സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച് അൽ ക്യൂ അലോയ് ടാർഗെറ്റിന്റെ സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിക്കുന്നു, പക്ഷേ ഇത് ഒരു ശ്രേണിയിൽ പൊതുവെ സ്ഥിരതയുള്ളതാണ്.ധാന്യത്തിന്റെ വലുപ്പം സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്കിൽ ഉണ്ടാകുന്നത് ധാന്യത്തിന്റെ വലുപ്പത്തിലുള്ള മാറ്റത്തിനൊപ്പം ആറ്റോമിക സാന്ദ്രതയിലെ മാറ്റമാണ്;Al Cu അലോയ് ടാർഗെറ്റിന്റെ ധാന്യ ഓറിയന്റേഷനാണ് ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് പ്രധാനമായും ബാധിക്കുന്നത്.(200) ക്രിസ്റ്റൽ പ്ലെയിനുകളുടെ അനുപാതം ഉറപ്പാക്കുന്നതിന്റെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ, (111), (220), (311) ക്രിസ്റ്റൽ പ്ലെയിനുകളുടെ അനുപാതം വർദ്ധിക്കുന്നത് നിക്ഷേപ നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കും.

അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി അലുമിനിയം അലോയ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ ധാന്യത്തിന്റെ വലുപ്പവും ധാന്യ ഓറിയന്റേഷനും പ്രധാനമായും ക്രമീകരിക്കുന്നതും നിയന്ത്രിക്കുന്നതും ഇൻഗോട്ട് ഹോമോജനൈസേഷൻ, ഹോട്ട് വർക്കിംഗ്, റീക്രിസ്റ്റലൈസേഷൻ അനീലിംഗ് എന്നിവയിലൂടെയാണ്.വേഫർ വലുപ്പം 20.32cm (8in), 30.48cm (12in) ആയി വികസിപ്പിച്ചതോടെ, ടാർഗെറ്റ് വലുപ്പവും വർദ്ധിക്കുന്നു, ഇത് അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി അലുമിനിയം അലോയ് സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് ഉയർന്ന ആവശ്യകതകൾ മുന്നോട്ട് വയ്ക്കുന്നു.ഫിലിമിന്റെ ഗുണനിലവാരവും വിളവും ഉറപ്പാക്കാൻ, ടാർഗെറ്റ് മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ യൂണിഫോം ആക്കുന്നതിന് ടാർഗെറ്റ് പ്രോസസ്സിംഗ് പാരാമീറ്ററുകൾ കർശനമായി നിയന്ത്രിക്കുകയും ധാന്യ ഓറിയന്റേഷനിൽ ശക്തമായ (200), (220) പ്ലെയിൻ ടെക്സ്ചറുകൾ ഉണ്ടായിരിക്കുകയും വേണം.