വാക്വം കോട്ടിംഗ് എന്നത് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് വാക്വമിൽ ചൂടാക്കുകയും ബാഷ്പീകരിക്കുകയും ത്വരിതപ്പെടുത്തിയ അയോൺ ബോംബ്‌മെന്റ് ഉപയോഗിച്ച് സ്പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുകയും ഒരു സിംഗിൾ-ലെയർ അല്ലെങ്കിൽ മൾട്ടി-ലെയർ ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യുന്നതിനെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു.വാക്വം കോട്ടിംഗിന്റെ തത്വം എന്താണ്?അടുത്തതായി, ആർ‌എസ്‌എമ്മിന്റെ എഡിറ്റർ അത് ഞങ്ങൾക്ക് പരിചയപ്പെടുത്തും.
1. വാക്വം ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ്
ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിൽ നിന്നുള്ള നീരാവി തന്മാത്രകൾ അല്ലെങ്കിൽ ആറ്റങ്ങൾ തമ്മിലുള്ള അകലം, പൂശേണ്ട അടിവസ്ത്രം എന്നിവ പൂശുന്ന മുറിയിലെ അവശിഷ്ട വാതക തന്മാത്രകളുടെ ശരാശരി സ്വതന്ത്ര പാതയേക്കാൾ കുറവായിരിക്കണം, അതിനാൽ നീരാവി തന്മാത്രകൾ ബാഷ്പീകരണം കൂട്ടിയിടിക്കാതെ അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ എത്താം.ഫിലിം ശുദ്ധവും ഉറച്ചതുമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുക, ബാഷ്പീകരണം ഓക്സിഡൈസ് ചെയ്യില്ല.
2. വാക്വം സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ്
ശൂന്യതയിൽ, ത്വരിതപ്പെടുത്തിയ അയോണുകൾ ഖരവുമായി കൂട്ടിയിടിക്കുമ്പോൾ, ഒരു വശത്ത്, ക്രിസ്റ്റലിന് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കുന്നു, മറുവശത്ത്, അവ ക്രിസ്റ്റൽ നിർമ്മിക്കുന്ന ആറ്റങ്ങളുമായി കൂട്ടിയിടിക്കുന്നു, ഒടുവിൽ ഖരത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലുള്ള ആറ്റങ്ങളോ തന്മാത്രകളോ. പുറത്തേക്ക് തുപ്പുക.സ്പട്ടർ ചെയ്ത മെറ്റീരിയൽ അടിവസ്ത്രത്തിൽ പൂശുകയും നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇതിനെ വാക്വം സ്പട്ടർ പ്ലേറ്റിംഗ് എന്ന് വിളിക്കുന്നു.നിരവധി സ്പട്ടറിംഗ് രീതികളുണ്ട്, അവയിൽ ഡയോഡ് സ്പട്ടറിംഗ് ആണ് ആദ്യത്തേത്.വ്യത്യസ്ത കാഥോഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ അനുസരിച്ച്, അതിനെ ഡയറക്ട് കറന്റ് (ഡിസി), ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി (ആർഎഫ്) എന്നിങ്ങനെ വിഭജിക്കാം.ഒരു അയോൺ ഉപയോഗിച്ച് ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിൽ സ്വാധീനം ചെലുത്തി സ്പട്ടർ ചെയ്യുന്ന ആറ്റങ്ങളുടെ എണ്ണത്തെ സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് എന്ന് വിളിക്കുന്നു.ഉയർന്ന സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് ഉള്ളതിനാൽ, ഫിലിം രൂപീകരണ വേഗത വേഗത്തിലാണ്.സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് ഊർജ്ജവും അയോണുകളുടെ തരവും ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന്റെ തരവുമായി ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു.പൊതുവായി പറഞ്ഞാൽ, മനുഷ്യന്റെ അയോൺ ഊർജം വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച് സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിക്കുന്നു, കൂടാതെ വിലയേറിയ ലോഹങ്ങളുടെ സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് കൂടുതലാണ്.
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂലൈ-14-2022