ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ്
ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ്
ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് WSi2 മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സിൽ ഇലക്ട്രിക് ഷോക്ക് മെറ്റീരിയലായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, പോളിസിലിക്കൺ വയറുകളിൽ ഷണ്ടിംഗ്, ആന്റി-ഓക്‌സിഡേഷൻ കോട്ടിംഗ്, റെസിസ്റ്റൻസ് വയർ കോട്ടിംഗ്.ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് 60-80μΩcm പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സിൽ ഒരു കോൺടാക്റ്റ് മെറ്റീരിയലായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.1000 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിലാണ് ഇത് രൂപപ്പെടുന്നത്.പോളിസിലിക്കൺ ലൈനുകളുടെ ചാലകത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും സിഗ്നൽ വേഗത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും ഇത് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.നീരാവി നിക്ഷേപം പോലെയുള്ള രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം വഴി ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് പാളി തയ്യാറാക്കാം.അസംസ്‌കൃത വാതകമായി മോണോസിലേൻ അല്ലെങ്കിൽ ഡൈക്ലോറോസിലേൻ, ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്‌സാഫ്ലൂറൈഡ് എന്നിവ ഉപയോഗിക്കുക.നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിം നോൺ-സ്റ്റോയ്‌ചിയോമെട്രിക് ആണ്, കൂടുതൽ ചാലകമായ സ്റ്റോയ്‌ചിയോമെട്രിക് രൂപത്തിലേക്ക് അനീലിംഗ് ആവശ്യമാണ്.
ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡിന് മുമ്പത്തെ ടങ്സ്റ്റൺ ഫിലിമിന് പകരം വയ്ക്കാൻ കഴിയും.ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് സിലിക്കണും മറ്റ് ലോഹങ്ങളും തമ്മിലുള്ള ഒരു തടസ്സ പാളിയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
മൈക്രോഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങളിലും ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് വളരെ വിലപ്പെട്ടതാണ്, അവയിൽ ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് പ്രധാനമായും മൈക്രോ സർക്യൂട്ടുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനുള്ള നേർത്ത ഫിലിമായിട്ടാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്.ഈ ആവശ്യത്തിനായി, ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് ഫിലിം, ഉദാഹരണത്തിന്, സിലിസൈഡ് ഉപയോഗിച്ച് പ്ലാസ്മ-എച്ചിംഗ് ചെയ്യാം.
| ഇനം | രാസഘടന | |||||
| ഘടകം | W | C | P | Fe | S | Si |
| ഉള്ളടക്കം(wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | ബാലൻസ് |
റിച്ച് സ്പെഷ്യൽ മെറ്റീരിയലുകൾ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ നിർമ്മാണത്തിൽ വൈദഗ്ദ്ധ്യം നേടിയിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ ഉപഭോക്താക്കളുടെ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾക്കനുസരിച്ച് ടങ്സ്റ്റൺ സിലിസൈഡ് സ്പട്ടറിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾ നിർമ്മിക്കാനും കഴിയും.കൂടുതൽ വിവരങ്ങൾക്ക്, ദയവായി ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടുക.
